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成像分析

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UZonglabSHININZAIXINWANGZHETIYUXINCAILIAOKAIFA、ZHICHENGJIANKONG、PINZHIKONGZHI、SHIXIAOFENXIZHONGBUKEQUESHAODEHEZUOHUOBAN。YUZHONGKEJIDECAILIAOFENXIZHUANJIAJUYOUGUANGFANDEZHUANYEZHISHI,RANGKEHUNENGGOUCHONGFENLIJIEXIANYOUFENXIJISHUDEFANWEI,YIJIXINGNENGJIXIAN。NINWANQUANKEYIXIANGXINWOMENDEJISHUBINGBANGZHUNINGAISHANWANGZHETIYUDEXINGNENG、TISHENGCHENGPINLIANGLV、SUODUANYANFASHIJIAN、JIANGDISHENGCHANCHENGBEN、JIEJUEWENTIDADAOYUQIDEXIAOGUO。

成像/投影
在其最简单的形式中,成像分析主要是利用显微镜方法来聚焦表面(包括光学和电子)。分析提供的信息会受到所使用的仪器能力的限制。在此分析类型中主要采用的分析技术是扫描式电子显微镜(SEM)。

元素、无机物或者分子种类的横向分配(例如位置)可以使用以下方法来测量:

  • 电子束技术:SEM,EDS和Auger
  • 离子束技术:TOF-SIMS和FIB

ZHEIXIEFANGFATIGONGLEDITUHUOTUXIANGLAIXIANSHIBUTONGZHONGLEIYUANSUDEXIANGDUIWEIZHI,XIANGGUANDEGONGNENG,QUEXIAN,KELIDENGDEYOUYONGXINXI。

YEKEYISHIYONGQITADEJISHULAIHUODETUXIANG:

  • Raman测量分子振动,并且提供有关官能基、碳类型和压力/应力的信息。
  • AFM提供表面粗糙的图像、硬度和磁性成像。
  • XPS提供元素和化学映像。
  • 光学轮廓测定可以产生表面的三维成像,三维测量或特定功能的成像。

ZAIYIGEGUIMOJIAODADEJINGYUANYINGXIANGDAO300mm,LEXESKEYIYONGYUYINGSHECHANZA、BOMOCHENGFENHEZAZHI;XRR/XRFKEYIYONGYUYINGXIANGMODEHOUDUHEMIDU;TXRFKEYIYONGYUYINGXIANGYUANSUWURANWU。

主要分析技术

  • Auger
  • EDS
  • FIB
  • LEXES
  • SEM
  • TOF-SIMS
  • XRF
  • XRR

其他分析技术

  • AFM
  • Raman
  • XPS